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自动匹配器

KVMEN®  AM系列数字式自动匹配器,采用目前最先进的数字式网络匹配平台,利用我们成熟的专业技术力量,AM自动匹配器以快速、精确和可重复的方式,将等离子体的复阻抗与您期望的调谐范围进行匹配。与传统模拟调谐方法相比,数字调谐算法和步进电机驱动可产生更快速,更精准和高重复的响应,始终都保持与负载的阻抗点相契合。

优势

功能

● 提高生产力、增加产量、降低生产成本
● 长期稳定的制程时间保证
● 易于安装和操作
● 快速、精确和可重复的阻抗匹配
● 最佳的、可直接应用的功能,满足多种应用领域需求
● 多功率和频率范围

性能参数

AM-1310

AM-1315

AM-1320

频率

13.56MHz ±0.005%  27.12MHz\40.68MHz

最大传输功率

1000w

1500W

2000W

反射功率(最大功率时)

<3w

<3w

<5w

最大负荷电流

30ARMS

30ARMS

30ARMS

最大负荷电压

7500VRMS

7500VRMS

7500VRMS

传输效率

>90%

匹配时间

1~3s

主电容

双真空电容

可匹配阻抗实部范围

0~80Ω

可匹配阻抗虚部范围

-j200~~+j200

RF输出连接器

50 Ω, L29,铜带输出,可自定制

控制接口

自动手动控制窗口

冷却方式

风冷

风冷

风冷+水冷

供电电压

单相交流(187V-253V 频率50/60HZ

重量

7.5KG

8KG

尺寸

430mmDx220mmWx130mmH)或可定制