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自动匹配器
KVMEN® AM系列数字式自动匹配器，采用目前先进的数字式网络匹配平台，利用我们成熟的专业技术力量，AM自动匹配器以快速、精确和可重复的方式，将等离子体的复阻抗与您期望的调谐范围进行匹配。与传统模拟调谐方法相比，数字调谐算法和步进电机驱动可产生更快速，更精准和高重复的响应，始终都保持与负载的阻抗点相契合。
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优势 |
功能 |
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● 提高生产力、增加产量、降低生产成本 ● 长期稳定的制程时间保证 ● 易于安装和操作 |
● 快速、精确和可重复的阻抗匹配 ● 最佳的、可直接应用的功能，满足多种应用领域需求 ● 多功率和频率范围 |
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性能参数 |
AM-1310 |
AM-1315 |
AM-1320 |
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频率 |
13.56MHz ±0.005% （27.12MHz\40.68MHz ） |
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最大传输功率 |
1000w |
1500W |
2000W |
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反射功率（最大功率时） |
<3w |
<3w |
<5w |
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最大负荷电流 |
30ARMS |
30ARMS |
30ARMS |
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最大负荷电压 |
7500VRMS |
7500VRMS |
7500VRMS |
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传输效率 |
>90% |
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匹配时间 |
1~3s |
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主电容 |
双真空电容 |
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可匹配阻抗实部范围 |
0~80Ω |
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可匹配阻抗虚部范围 |
-j200~~+j200 |
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RF输出连接器 |
50 Ω, L29,铜带输出,可自定制 |
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控制接口 |
自动手动控制窗口 |
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冷却方式 |
风冷 |
风冷 |
风冷+水冷 |
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供电电压 |
单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ |
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重量 |
7.5KG |
8KG |
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尺寸 |
430mm（D）x220mm（W）x130mm（H）或可定制 |
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