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气体质量流量控制器
WARWICK®系列气体质量流量控制器（MFC）产品是经过实践验证的适合多种应用场合的标准产品，流量精准度及性价比高，先进的传感器和阀控技术，经过实地应用验证的平台组件以及高速的模拟/数字线路带来最精准的气体流量控制，可以满足客户在数值和功能上对于MFC的不同要求。适用于半导体，平板显示，数据存储，真空工业，ICP光谱设备及太阳能晶硅制程等不同行业。
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规格 |
MC-AN600 |
MC-AN601 |
MC-AN602 |
MC-AN610 |
MC-AN611 |
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量程范围 |
单气体 2-5000SCCM |
单气体 5-50SLM |
单气体 30-200SLM |
单气体2-5000SCCM |
单气体 5-50SLM |
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阀门类型 |
常开式或常闭式螺线管 |
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接头 |
1/4〞VCR或1/4〞Swagelok |
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密封 |
橡胶 |
金属 |
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响应时间 |
到达设定点±2%所需时间≤1SEC |
≤3SEC |
到达设定点±2%所需时间≤1SEC |
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精确性 |
≤满量程1% |
≤满量程2% |
≤满量程1% |
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线性度 |
≤满量程±0.5% |
≤满量程±1% |
≤满量程±0.5% |
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重复性 |
≤满量程±0.2% |
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压差 |
7-40PSI |
21-40PSI |
7-40PSI |
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漏率 |
MAX:1X10ˉ7PA.M3/SEC（HE） |
MAX:1X10ˉ11PA.M3/SEC（HE） |
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控制范围 |
满量程的2-100% |
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最高操作压力 |
50PSI |
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承受压力 |
最大值150PSI |
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通讯模式 |
模拟0-5V/4-20MA |
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输入电压 |
+15VDC ±2% at 50MA -15VDC ±2% at 150MA |
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控制信号 |
0-5VDC/4-20MA |
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输出模拟信号 |
0-5VDC/4-20MA |
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功耗 |
3.1W |
3.5W |
3.1W |
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温度范围 |
5-45° |
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材料 |
316LSS,316SS,PTFE,KM45 |
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重量 |
0.9KG |
2.2KG |
1.0KG |
1.2KG |
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