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气体质量流量控制器


WARWICK®系列气体质量流量控制器(MFC)产品是经过实践验证的适合多种应用场合的标准产品,流量精准度及性价比高,先进的传感器和阀控技术,经过实地应用验证的平台组件以及高速的模拟/数字线路带来最精准的气体流量控制,可以满足客户在数值和功能上对于MFC的不同要求。适用于半导体,平板显示,数据存储,真空工业,ICP光谱设备及太阳能晶硅制程等不同行业。

规格

MC-AN600

MC-AN601

MC-AN602

MC-AN610

MC-AN611

量程范围

单气体 2-5000SCCM

单气体 5-50SLM

单气体   30-200SLM

单气体2-5000SCCM

单气体  5-50SLM

阀门类型

常开式或常闭式螺线管

接头

1/4VCR1/4Swagelok

密封

橡胶

金属

响应时间

到达设定点±2%所需时间≤1SEC

3SEC

到达设定点±2%所需时间≤1SEC

精确性

≤满量程1%

≤满量程2%

≤满量程1%

线性度

≤满量程±0.5%

≤满量程±1%

≤满量程±0.5%

重复性

≤满量程±0.2%

压差

7-40PSI

21-40PSI

7-40PSI

漏率

MAX:1X10ˉ7PA.M3/SECHE

MAX:1X10ˉ11PA.M3/SECHE

控制范围

满量程的2-100%

最高操作压力

50PSI

承受压力

最大值150PSI

通讯模式

模拟0-5V/4-20MA

输入电压

+15VDC ±2% at 50MA         -15VDC ±2% at 150MA

控制信号

0-5VDC/4-20MA

输出模拟信号

0-5VDC/4-20MA

功耗

3.1W

3.5W

3.1W

温度范围

5-45°

材料

316LSS,316SS,PTFE,KM45

重量

0.9KG

2.2KG

1.0KG

1.2KG