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什么是射频电源

射频即Radio Frequency,通常缩写为RF。表示可以辐射到空间的电磁频率,频率范围从300KHz~30GHz之间。RF射频就是射频电流,它是一种高频交流变化电磁波的简称。每秒变化小于1000次的交流电称为低频电流,大于10000次的称为高频电流,而射频就是这样一种高频电流。射频电源是产生等离子体的配套电源,由射频功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率计组成,应用于射频溅射,PECVD 化学气相沉积,等离子清洗,反应离子刻蚀等设备中。

 

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