什么是射频电源

射频即Radio Frequency，通常缩写为RF。表示可以辐射到空间的电磁频率，频率范围从300KHz～30GHz之间。RF射频就是射频电流，它是一种高频交流变化电磁波的简称。每秒变化小于1000次的交流电称为低频电流，大于10000次的称为高频电流，而射频就是这样一种高频电流。射频电源是产生等离子体的配套电源,由射频功率源，阻抗匹配器以及阻抗功率计组成，应用于射频溅射，PECVD 化学气相沉积，等离子清洗，反应离子刻蚀等设备中。