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应用管式PECVD


石英管外部加电感线圈,射频功率加载在线圈上,石英管两端密封,抽真空,通过电感耦合方式,射频功率会耦合到石英管内部,石英管真空度在10-60帕之间,射频功率使石英管内部含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

国内传统射频匹配器在应用此类设备的过程中,在管内气压或者气体变化的时候,匹配器跟踪会出现紊乱的情况,导致失配,从而使制程出现异常,我司射频匹配器采用数字算法,无论气压或者气体变化,总能够及时跟踪,实时进行匹配。目前我司的射频电源和自动匹配器,已经广泛应用于国内各大科研设备制造商。