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射频电源匹配器一体机

KVMEN®  AGM系列全固态射频电源匹配器一体机,采用目前技术最稳定可靠的功放和直流模块,从而使产品提供极其稳定的射频功率输出,产品更坚固耐用。

内部集成匹配器模块,采用目前最先进的数字式网络匹配平台,自动匹配器以快速、精确和可重复的方式,将等离子体的复阻抗与您期望的调谐范围进行匹配。与传统模拟调谐方法相比,数字调谐算法和步进电机驱动可产生更快速,更精准和高重复的响应,始终都保持与负载的阻抗点相契合。

元器件质量高而数量少,使产品的可靠性和设备生命周期最大化。LCD显示屏既全面又直观的操作菜单,可在设备的控制面板上直接使用,提供独一无二的易操作性,提高操作者效率,最小化培训成本。

性能参数

AGM-1303

功率输出范围

5W-300W

最大反射功率

100W

功率稳定度

±0.1%

谐波分量

-50dbc

供电电压

单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ

整机效率

70%

功率因素

90%

匹配器最大传输功率

500w

反射功率(最大功率时)

<3w

最大负荷电流

30ARMS

最大负荷电压

7500VRMS

RF输出连接器

50 Ω, L29,或可定制

匹配时间

1~3s

可匹配阻抗实部范围

0~80Ω

可匹配阻抗虚部范围

200j~ 200j

冷却方式

强制风冷

整机重量

19.5kg

整机尺寸

133 mm (H)×440 mm (W)×410 mm (D)