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射频电源匹配器一体机
KVMEN® AGM系列全固态射频电源匹配器一体机,采用目前技术最稳定可靠的功放和直流模块,从而使产品提供极其稳定的射频功率输出,产品更坚固耐用。
内部集成匹配器模块,采用目前最先进的数字式网络匹配平台,自动匹配器以快速、精确和可重复的方式,将等离子体的复阻抗与您期望的调谐范围进行匹配。与传统模拟调谐方法相比,数字调谐算法和步进电机驱动可产生更快速,更精准和高重复的响应,始终都保持与负载的阻抗点相契合。
元器件质量高而数量少,使产品的可靠性和设备生命周期最大化。LCD显示屏既全面又直观的操作菜单,可在设备的控制面板上直接使用,提供独一无二的易操作性,提高操作者效率,最小化培训成本。
性能参数 |
AGM-1303 |
功率输出范围 |
5W-300W |
最大反射功率 |
100W |
功率稳定度 |
±0.1% |
谐波分量 |
≤-50dbc |
供电电压 |
单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ |
整机效率 |
≥70% |
功率因素 |
≥90% |
匹配器最大传输功率 |
500w |
反射功率(最大功率时) |
<3w |
最大负荷电流 |
30ARMS |
最大负荷电压 |
7500VRMS |
RF输出连接器 |
50 Ω, L29,或可定制 |
匹配时间 |
1~3s |
可匹配阻抗实部范围 |
0~80Ω |
可匹配阻抗虚部范围 |
﹣200j~ ﹢200j |
冷却方式 |
强制风冷 |
整机重量 |
19.5kg |
整机尺寸 |
133 mm (H)×440 mm (W)×410 mm (D) |