石英管外部加电感线圈，射频功率加载在线圈上，石英管两端密封，抽真空，通过电感耦合方式，射频功率会耦合到石英管内部，石英管真空度在10-60帕之间，射频功率使石英管内部含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。

国内传统射频匹配器在应用此类设备的过程中，在管内气压或者气体变化的时候，匹配器跟踪会出现紊乱的情况，导致失配，从而使制程出现异常，我司射频匹配器采用数字算法，无论气压或者气体变化，总能够及时跟踪，实时进行匹配。目前我司的射频电源和自动匹配器，已经广泛应用于国内各大科研设备制造商。